A indústria de empacotamento pertence ao processo de produção no final do processo na produção inteira de IC. Neste processo, para o pacote plástico IC, IC híbrido ou IC monolítico, há principalmente bolacha que dilui (moedura), corte da bolacha (risco), e carga do núcleo. (Folha adesiva), soldadura de pressão (ligação), empacotando (capsulagem), pre-curando-se, galvanizando, imprimindo, cargo-cura, cortando reforços, montagem do tubo, testes da cargo-selagem, etc. Cada processo tem exigências diferentes para ambientes diferentes do processo.
A influência de fatores eletrostáticos no empacotamento de IC
Antes de mais nada, a causa da eletricidade estática pode ser considerada em toda parte. Hoje, com o desenvolvimento rápido da ciência e da tecnologia e o alto nível da automatização na produção industrial, o dano da eletricidade estática na produção industrial é já óbvio. Pode causar vários obstáculos, limitar a melhoria do nível da automatização e afetar a qualidade de produto. Estão aqui as razões principais para a geração de eletricidade estática baseada na situação real de nossa fábrica no empacotamento do circuito integrado e no processo de produção.
1. Os materiais da construção e da decoração na oficina da produção são na maior parte materiais da alto-resistência. O processo de produção de IC exige o uso de uma oficina limpa ou de uma oficina ultra-limpa.
O tamanho de partícula de partículas deremoção é exigido para ser mudado dos 0.3μm aos 0.1μm precedentes, e a densidade da partícula de poeira é sobre 353/m3. Com tal fim, além do que a instalação do vário equipamento da coleção de poeira, os materiais livres de poeira inorgánicos e orgânicos devem ser usados para impedir a poeira. Contudo, o desempenho elétrico dos materiais de construção não é considerado como um indicador. Não há nenhuma disposição nas especificações do projeto para oficinas limpas de empresas industriais. Os materiais principais da decoração interior usados na oficina limpa da fábrica de IC são: assoalho elástico do poliuretano, nylon, plástico duro, polietileno, papel de parede plástico, resina, madeira, placa branca da porcelana, esmalte, emplastro, etc. A maioria dos materiais acima mencionados são compostos ou isoladores do polímero. Por exemplo, a resistividade do corpo do plexiglás é 1012~1014Ω/cm, e a resistividade do corpo do polietileno é 1013~1015Ω/cm, assim que a condutibilidade é relativamente pobre, e a eletricidade estática devido a alguma razão não é fácil de escapar à terra através deles, tendo por resultado a acumulação de eletricidade estática.
2. Eletricidade estática de corpo humano
Os movimentos diferentes e o passeio para a frente e para trás dos operadores do quarto desinfetado, das solas das sapatas e da terra estão constantemente no contato e na separação próximos, e as várias partes do corpo humano igualmente têm atividades e fricção. Se é passeio rápido, retarde o passeio, ou trotando, a eletricidade estática será gerada, que é a carga de passeio assim chamada; o corpo humano levanta-se após mover-se. , A roupa de trabalho vestida pelo corpo humano e a superfície da cadeira são separadas após ter contactado a superfície da cadeira, e a eletricidade estática será gerada igualmente. Se a tensão eletrostática do corpo humano não pode ser eliminada e a microplaqueta de IC está tocada, pode causar a divisão de IC unknowingly.
3. Eletricidade estática causada pela purificação do condicionamento de ar e do ar
Desde que a produção de IC exige RH 45-55%, a purificação do condicionamento de ar e do ar deve ser executada. O ar desidratado é enviado ao quarto desinfetado através do filtro preliminar, do filtro médio da eficiência, do filtro da eficiência elevada e do canal de ar. Geralmente, a velocidade do vento do canal de ar principal é 8~10m/s, e a parede interna do canal de ar é pintada. Quando o ar seco e o canal de ar, o ar seco e o movimento do filtro relativos a, eletricidade estática serão gerados. Deve-se notar que a eletricidade estática é mais sensível à umidade.
Além, o transporte de produtos semiacabados e de produtos de IC gerará a eletricidade estática durante o empacotamento e o transporte, que é um dos fatores da eletricidade estática.
Em segundo lugar, o dano da eletricidade estática a IC é considerável. Em linhas gerais, a eletricidade estática tem as características do potencial alto e do campo elétrico forte. Em processo do carregamento eletrostático e do descarregamento, a descarga atual alta transiente e o pulso eletromagnético (EMP) são formados às vezes, gerando campos de radiação eletromagnética com um espectro largo.
Além, comparado com a energia elétrica convencional, a energia eletrostática é relativamente pequena. No processo natural da eletrificação-descarga, os parâmetros da descarga eletrostática (ESD) são incontroláveis, e é um processo aleatório que seja difícil de repetir. Consequentemente, seu papel é afetado frequentemente por povos. Ignorado. Especialmente no campo da tecnologia da microeletrônica, o dano que nos causa está surpreendendo. De acordo com relatórios, a perda econômica direta causada pela eletricidade estática é tão alta quanto várias centenas milhão yuan cada ano. A eletricidade estática transformou-se um obstáculo principal ao desenvolvimento da indústria da microeletrônica.
Na oficina da produção do dispositivo de semicondutor, devido à adsorção da poeira na microplaqueta, o rendimento dos CI, circuitos integrados de escala especialmente muito grande (VLSI), será reduzido extremamente. Os operadores na oficina da produção de IC vestem macacões limpos. Se o corpo humano é carregado com a eletricidade estática, é fácil absorver a poeira e a sujeira. Se este a poeira e a sujeira são trazidas ao local da operação, afetará a qualidade de produto, deteriora o desempenho de produto, e reduz extremamente o rendimento do CI. Se o raio das partículas de poeira fixadas é maior do μm 100 e a linha largura são o μm aproximadamente 100, quando a espessura de filme está abaixo do μm 50, o produto é mais provável ser desfeito.
Em terceiro lugar, o dano da eletricidade estática a IC tem determinadas características.
(1) a dissimulação a menos que a descarga eletrostática ocorrer, o corpo humano não pode diretamente perceber a eletricidade estática, mas o corpo humano não pode sentir um choque elétrico quando a descarga eletrostática ocorre. Isto é porque a tensão da descarga eletrostática detectada pelo corpo humano é 2~3kv, assim que a eletricidade estática é escondida.
(2) a potencialidade o desempenho de alguns dissipadores não é reduzida significativamente após a danificação pela eletricidade estática, mas as descargas cumulativas múltiplas causarão dano interno aos dispositivos de IC e formarão perigos escondidos. Consequentemente, a eletricidade estática tem o potencial danificar IC.
(3) em que circunstâncias pode IC aleatório sofrer dano eletrostático? Pode-se dizer que da produção de uma microplaqueta de IC até que esteja danificado, todos os processos é ameaçado pela eletricidade estática, e a geração de eletricidade estática é igualmente aleatória. Seu dano é igualmente aleatório.
(4) a análise da falha de dano complexo da descarga eletrostática é devido à multa, fina demorados, trabalho-intensivos, e caros, e às características estruturais minúsculas de produtos microeletrónicos de IC, exigindo o de alta tecnologia e exigindo frequentemente o uso de instrumentos altamente sofisticados, contudo alguns fenômenos eletrostáticos de dano são igualmente difíceis de distinguir de dano causado por outras razões; erro que dos povos a falha de dano da descarga eletrostática como outras falhas, que são atribuídas frequentemente à falha adiantada ou às condições desconhecidas antes da compreensão completa de dano da descarga eletrostática a falha, assim cobre inconscientemente acima da causa real da falha. Consequentemente, é complicada para analisar o dano da eletricidade estática a IC.
Em resumo, é necessário estabelecer um sistema de proteção eletrostático em processo do processamento, da produção e do empacotamento de IC! As linhas de produção de empacotamento de IC têm umas exigências mais restritas para a eletricidade estática. A fim assegurar a operação normal da linha de produção, a decoração total de materiais de construção antiestáticos é realizada na oficina limpa, e todos os pessoais que entram e que saem da oficina limpa são equipados com a roupa antiestática. Além do que a adoção de medidas do hardware, a empresa de empacotamento pode seguir os padrões nacionais relevantes e a situação real da empresa. A situação formulou padrões incorporados ou exigências específicas em termos de antiestático cooperar com a operação normal de linhas de produção de empacotamento de IC. Com a expansão de linhas de empacotamento de IC do meu país, a melhoria de capacidades de empacotamento, o aumento em variedades de empacotamento, e umas exigências mais altas para a qualidade e o rendimento de produto, correspondentemente, várias exigências do software e de hardware e a conscientização da proteção eletrostática para todos os médicos que reforçam são ainda mais importantes, e esta é igualmente de jogo e de atuação como “o papel principal” e “o assassino invisível” que afeta a qualidade de nossos produtos. Consequentemente, a proteção eletrostática será um tema importante na indústria inteira de IC presentemente e no futuro.
